ĎALŠIE INFORMÁCIE

Systém výberu produktu a konzultačný systém - medias®

Valčekové jednotkyKUVE - jednotky s obehom guliek
 
KONTAKT
Použitie

Litografia

Vysoko presné lineárne vedenia pre súradnicové stoly

Aby bolo možné naniesť na čipy potrebné štruktúry, pokrývajú sa vrstvou fotolaku mimoriadne citlivého na svetlo. Uvedený lak sa osvetlí cez masku a rozloží sa tam, kam dopadlo svetlo.

Vo výrobe polovodičov ďalšej generácie budú výrobcovia usilovať o veľkosti štruktúr pod 60 nm, aby dokázali dosiahnuť vyššiu hustotu pamäte a rýchlosť spínania.

Lineárnym pohonom poháňané súradnicové stoly zaisťujú pohyb substrátu a projekčnú masku. Základom stroja je stabilný granitový podstavec tlmiaci rázy a vysoko presné vedenie - napríklad valčeková jednotka INA RUE. Toto mimoriadne tiché vedenie sa vyznačuje rovnomerným chodom a odporom proti posuvu a zaručuje tak vysokú reprodukovateľnosť a presnosť pri polohovaní.